第8922期昆明理工大学等单位的项目通过科技成果评价

全国科技成果评价服务平台 2023-04-20 09:28 抢发第一评

大尺寸P型单晶硅高效拉晶关键技术及应用 anli.jpg

　　2023年4月18日，第三方专业科技成果评价机构——中科合创(北京)科技成果评价中心在昆明依据科技部《科学技术评价办法》的有关规定，按照科技成果评价的标准及程序，本着科学、独立、客观、公正的原则，组织专家对昆明理工大学、隆基绿能科技股份有限公司、丽江隆基硅材料有限公司、普洱学院共同完成的“大尺寸P型单晶硅高效拉晶关键技术及应用”项目进行了科技成果评价。

　　此次成果评价专家委员会由中国工程院院士、中南大学副校长柴立元，浙江大学教授余学功，云南驰宏锌锗股份有限公司正高级工程师王冲，北京工业大学教授王金淑，中国科学院过程工程研究所研究员王志，云南冶金集团股份有限公司正高级工程师臧健，云南大学教授柳清菊等专家组成。

　　经过专家评审，认为该项目在国家科技支撑计划、国家自然科学基金和云南省科技重大专项等项目的支持下，针对大尺寸P型单晶硅直拉法生产中存在有害同心圆缺陷、坩埚寿命短、掺杂不均等行业共性关键难题，重点开展了相关传热机制、单炉多棒拉晶、掺镓均匀性及热场装备等开发研究，攻克了P型M10(182╳182mm²)单晶硅棒高效拉晶关键技术，实现了工业化应用。主要的创新性和先进性如下：率先开发出P型M10单晶硅棒热场系统与拉晶集成技术，研制了新型主加热器和热场保温等设备，设计了热加距等优化工艺，P型M10单晶硅棒产品少子寿命≥150μs，电阻率0.4-0.9 Ω·cm，头部氧含量≤16ppma，碳含量<1ppma，解决了大尺寸P型单晶硅生长过程中的有害同心圆缺陷问题；发明了石英坩埚内壁涂层和硅料复投耦合新技术，采用石英坩埚内表面掺杂碳酸钡涂层、连续炉外和炉内复投料等技术及配套加料装置，坩埚寿命提升至550-600h，投料量可达3500kg，首次突破了“单炉十棒”高效拉晶关键技术及装备；研发了两段变速拉晶新工艺，有效改善了熔体中掺杂剂均匀性，硅棒径向电阻率头部边缘达0.83Ω·cm，中心达0.77Ω·cm，轴向头尾电阻比1.86。项目成果自2020年开始应用以来，已在丽江隆基硅材料有限公司、保山隆基硅材料有限公司等企业建成105GW/a生产线，实现新增销售收入960多亿元，新增就业岗位1.1余万个，经济和社会效益显著。成果获授权发明专利15件、实用新型专利17件；发表论文12篇；“大尺寸硅片技术”已列入《中国禁止出口限制出口技术目录》(2023年)。该成果整体技术达到国际领先水平。经专家组全面审核，与会专家一致同意，“大尺寸P型单晶硅高效拉晶关键技术及应用”项目通过科技成果评价。

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