中船特气：电子特气市占率国内居首 应用核心技术收入占比超九成

《金基研》无风/作者 杨起超 时风/编审

电子特种气体被誉为半导体行业的“血液”，是半导体制造不可或缺的关键原材料之一；三氟甲磺酸系列产品具有对环境友好、催化作用强等特点，广泛应用于锂电新能源、医药、化工等行业。中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司（以下简称“中船特气”）主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售。近年来，受益于下游行业的快速发展，中船特气的经营规模持续扩张。

近年来，中船特气营收净利润逐年提升，“造血”能力持续增强。同时，中船特气毛利率高于行业平均水平，加权平均ROE“领跑”同行，盈利能力突出。经过多年发展和积累，中船特气目前已经具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力，成为行业内产业规模大、客户覆盖广、创新能力强且具备参与全球竞争能力的头部企业。

一、下游产业扩张带动电子特气行业发展，细分领域市场需求旺盛

电子气体包括大宗电子气体和电子特种气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料。其中，电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。

据前瞻产业研究院数据，国内电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的42%，应用于显示面板行业的需求占市场总需求的37%。

受下游市场需求牵引，在国家和地方产业政策的引导支持下，在国家和地方专项投资基金等相关方的协同下，国内集成电路产业迎来了新的发展机遇。

据中国半导体行业协会（CSIA）数据，2017-2021年，国内集成电路市场规模分别为5,411亿元、6,532亿元、7,562亿元、8,848亿元、10,996亿元。

目前，国内晶圆厂处于密集扩产的周期。据SEMI统计，中国内地至2024年底，将新建立31座大型晶圆厂，超越国内台湾同期间预定投入运作的19座，以及美国预期的12座。

国内集成电路产能规模的持续扩大，将带动国内电子特种气体市场需求强劲增长。

与此同时，在国家产业政策支持、技术实现突破等多重利好因素的推动下，国内显示面板行业取得了长足进步，形成了以京东方、TCL 科技、深天马、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过六成，是全球第一大显示面板产业集中地。

据Forst & Sullivan数据，2016-2020年，按照产量口径，国内显示面板行业市场规模分别为0.44亿平方米、0.56 亿平方米、0.71亿平方米、0.84亿平方米、0.91亿平方米。

受益于集成电路、显示面板等下游行业持续稳定扩张，电子特种气体行业市场规模稳步增长。

据中商产业研究院数据，2017-2021年，国内电子特气市场规模分别为114亿元、126亿元、143亿元、175亿元、216亿元，年均复合增长率达17.32%。预计2023年国内电子特气市场规模将达249亿元。

按应用工艺，电子特种气体主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。据Linx Consulting数据，在2021年全球电子特种气体市场中，三氟化氮市场规模排名第一，占比约20%，六氟化钨市场规模排名第二，占比约8%，两者合计占比28%，为市场空间大、发展前景好的产品。

三氟化氮作为清洗、刻蚀气体，在集成电路和显示面板等领域均有广泛的应用。

据智研咨询数据，2017-2021年，国内三氟化氮需求量分别为0.61万吨、0.74万吨、1.09万吨、1.28万吨、1.43万吨，年均复合增长率达23.60%。

六氟化钨主要应用在集成电路制造领域，因其优良的电性能，广泛使用在化学气相沉积工艺中。随着集成电路工艺的不断迭代，特别是3D NAND层数的不断增加，对六氟化钨产品的需求也与日俱增。

据中船特气调研数据，2021年中国内地的六氟化钨需求量约为1,100吨，预计2025年国内六氟化钨的需求量将达到4,500吨，年均复合增速高达42.22%。

综上，近年来国内集成电路、显示面板行业持续稳定扩张，电子特种气体行业市场规模稳步增长。其中，三氟化氮和六氟化钨的市场需求强劲，行业发展前景广阔。

二、营收净利稳增“造血”能力增强，ROE“领跑”同行盈利能力突出

近年来，中船特气的营业收入、净利润均逐年提升，步入高质量发展的快车道。

据招股书，2019-2022年，中船特气的营业收入分别为10.37亿元、12.20亿元、17.33 亿元、19.56亿元，年均复合增长率达23.56%。

同期，中船特气的净利润分别为1.96亿元、2.38亿元、3.55亿元、3.83亿元，年均复合增长率达25.02%。

需要说明的是，中船特气财务报告审计截止日为2022年6月30日，2022年财务数据经立信会计师审阅，下同。

与此同时，中船特气的经营活动现金净流量逐年上涨，“造血”能力持续增强。

据招股书，2019-2022年，中船特气经营活动产生的现金流量净额分别为3.69亿元、4.13 亿元、5.51亿元、5.67亿元。

除此之外，中船特气的毛利率高于行业均值，加权平均ROE“领跑”同行业可比公司，盈利能力突出。

据东方财富choice数据，2019-2021年及2022年1-6月，中船特气的毛利率分别为43.01%、41.64%、40.35%、40.97%。

同期，中船特气同行业可比公司广东华特气体股份有限公司（以下简称“华特气体”）、苏州金宏气体股份有限公司（以下简称“金宏气体”）、昊华化工科技集团股份有限公司（以下简称“昊华科技”）、江苏雅克科技股份有限公司（以下简称“雅克科技”）、江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“南大光电”）的毛利率均值分别为38.71%、33.48%、30.10%、33.55%。

据东方财富choice数据，2019-2021年及2022年1-6月，中船特气的加权平均ROE分别为23.93%、21.83%、21.99%、10.26%。

同期，中船特气同行业可比公司华特气体的加权平均ROE分别为12.44%、8.63%、9.83%、8.30%；金宏气体的加权平均ROE分别为22.26%、10.95%、7.52%、3.70%；昊华科技的加权平均ROE分别为9.94%、10.27%、13.14%、6.60%；雅克科技的加权平均ROE分别为6.81%、9.07%、6.49%、4.66%；南大光电的加权平均ROE分别为4.60%、6.90%、8.75%、7.27%。

经金基研计算，2019-2021年及2022年1-6月，上述五家中船特气同行业可比公司的加权平均ROE均值分别为11.21%、9.16%、9.15%、6.11%。

另一方面，中船特气近年来期间费用率逐年走低，内部管理能力提升。

据招股书，2019-2021年及2022年1-6月，中船特气的期间费用率分别为20.80%、19.14%、18.32%、15.83%。

可见，近年来中船特气营业收入、净利润稳增，“造血”能力增强，业绩持续向好。同时，中船特气的毛利率高于行业均值，加权平均ROE“领跑”同行，盈利能力突出。

三、业内知名企业青睐，“四中心七仓储”布局提升客户粘性

集成电路、显示面板等企业对电子特种气体的产品质量和供货能力十分重视，为确保产品质量和供应的稳定性，通常采用认证采购的模式。产品通过下游客户验证，是电子特种气体打开销售渠道的前提和保证。

在产品质量方面，中船特气始终保持对产品品质管控的高度重视，搭建了涵盖供应商品质管理、进料品质管控、生产流程质量管理、出货检验管控等环节的全过程质量控制体系。中船特气先后通过了ISO9001、IATF16949质量管理体系认证并多次获得省市、国家级优秀质量管理小组称号。

在供货能力方面，目前，中船特气已经具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力。中船特气为国内三氟化氮、六氟化钨生产能力最大的企业，三氟化氮产能9,250吨，六氟化钨产能2,230吨，两项产品产能规模均位居国内第一。与国际公司相比，中船特气上述两项产品的生产规模也位居世界前列。

立足优良的产品质量和大规模生产能力，中船特气得到客户的广泛认可，与下游客户建立了稳定良好的合作关系，已成为集成电路和显示面板等行业国内外知名企业的重要供应商。

目前，中船特气客户以集成电路和显示面板行业为主，以医药、锂电新能源、光纤等行业为辅。

在集成电路领域，中船特气已实现对中芯国际、长江存储、上海华虹、长鑫存储等境内主要晶圆制造企业的全覆盖，并已进入台积电、联华电子、海力士、铠侠、格罗方德、德州仪器等全球领先的晶圆制造企业供应链。

在显示面板领域，中船特气已成为京东方、TCL 科技、天马微电子、咸阳彩虹、维信诺、群创光电、LGD、SDP等国内外企业的重要供应商。

此外，中船特气还服务于强生、默克、巴斯夫等行业巨头，以及新宙邦、杉杉股份等新能源电池材料企业。

多年来，中船特气获得了知名客户颁发的多项荣誉称号，包括获得中芯国际“优秀供应商”、联华电子“2021 年杰出支持伙伴奖”、三安集成电路“优秀供应商”、上海华力“2020 年度优秀供应商”等多项荣誉。

为提高对客户的供应能力、响应速度和服务质量，中船特气在客户聚集地建立了区域服务中心和仓储基地，统筹客户服务和仓储物流，增强服务和辐射能力。

目前，中船特气立足河北、辐射全国，在上海、合肥、武汉、重庆建有4个服务中心，在广东、上海、江苏、湖北、陕西、重庆全国等地设立了7个仓储基地，覆盖了华东、华中、华北、西南、华南等国内主要的集成电路、显示面板生产基地。

简言之，凭借优良的产品质量和大规模生产能力，中船特气得到国内外知名客户的广泛认可。同时，中船特气结合国内主要半导体客户的生产线布局，建立了“四中心七仓储”，持续增强服务能力及客户粘性。

四、电子特气市占率国内居首，核心产品技术指标行业一流

经过多年发展，中船特气形成了以电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品为主的业务布局，已成为国内电子特气龙头企业，并具备参与全球竞争的实力，打造了具有国际影响力的国内电子特种气体知名品牌。

据LinxConsulting数据，中船特气的电子特种气体收入位列全球第九名，是唯一进入前十的国内电子特种气体供应商；2019年、2020年中船特气的电子特种气体收入分别位列全球第12名、第10名，排名逐年攀升。

另据集成电路材料产业技术创新联盟调研数据，2021年，中船特气在电子特种气体的市场占有率为18.51%，市场占有率居国内第一。

2019-2021年及2022年1-6月，中船特气主要气体产品为三氟化氮、六氟化钨，其销售收入合计分别为9.07亿元、10.70亿元、14.30亿元、7.94亿元，占主营业务收入的比重分别为89.49%、89.08%、87.19%、84.80%。

需要说明的是，中船特气主要产品三氟化氮、六氟化钨销售收入占比相对稳定，略有下降，主要系随着其产品种类的不断丰富及其销售渠道的不断拓宽，其他种类产品的销售收入增长相对较快，占比稳中有升。

据TECHCET的统计数据，2020年，中船特气三氟化氮全球市场份额为24%，排名第二，仅次于SK Materials的28%；2020年，中船特气的六氟化钨全球市场份额为16%，排名第四，前三为SK Materials的20%、关东电化的17%、厚成化工的17%。2021年，中船特气已新建1,500吨六氟化钨生产线，合计产能达2,230吨，进一步提升了产业规模和行业地位。

此外，三氟甲磺酸系列产品具有产品品种多、生产规模小、产品附加值高等特点，目前中船特气可生产的产品有三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、三氟甲磺酸三甲基硅酯、双（三氟甲磺酰）亚胺锂、三氟甲磺酸锂等产品。

2019-2021年及2022年1-6月，中船特气的三氟甲磺酸系列产品收入金额分别为8,353.15万元、9,716.53万元、14,668.85万元、7,790.77万元，呈逐年增长趋势，占营业收入比重相对稳定，丰富了中船特气的产品结构。

值得一提的是，中船特气主要产品三氟化氮、六氟化钨的技术指标处于行业一流水平。

三氟化氮纯度一般需要达到4N，其生产中的杂质主要包括四氟化碳、氧气、氮气、一氧化二氮等，其中大部分杂质气体可以有效分离和控制，四氟化碳因与三氟化氮性质相似难去除，是下游客户选择产品的关键指标。中船特气生产的高纯三氟化氮的纯度可达到5N，主要产品技术指标处于行业一流水平；各类杂质含量偏低，特别是四氟化碳杂质指标优于国家标准和同行业竞争对手，已应用于集成电路5nm先进制程。

六氟化钨在国内实现量产的企业较少，国内厂商现有产能主要集中于中船特气。六氟化钨生产中的主要杂质成分为氧气、氮气、二氧化碳、氟化氢、金属粒子等，纯度一般需要达到5N。中船特气生产的高纯六氟化钨的纯度可达到6N，杂质含量不高于国家标准。

总的来说，中船特气的电子特种气体收入在全球排名中逐年攀升，在国内稳居第一。其中，核心产品三氟化氮、六氟化钨的技术指标处于行业一流水平，市场竞争力强。

五、电解氟化技术突破国外技术壁垒，应用核心技术收入占比超九成

一直以来，中船特气坚持创新是第一发展动力，聚焦关键技术，持续加大研发费用及人员投入。

经费是技术创新的保障。2019-2021年及2022年1-6月，中船特气累计研发投入超过3亿元，

研发人才是技术创新的关键。截至2022年6月30日，中船特气拥有专兼职研发人员137名（占员工总数的比例为22.72%），其中专职研发人员为81名（占员工总数的比例为13.43%），硕士和博士88人，高级工程师27人、研究员11人、国务院政府特殊津贴专家2人，研发团队实力雄厚。

平台是技术创新的依托。中船特气已建成河北省电子气体工程实验室、河北省特种气体技术创新中心、河北省集成电路用含氟新材料重点实验室三个省级研发平台。

同时，中船特气与天津大学、河北工程大学、七一八所等高校和科研机构进行多方式合作，构建龙头企业牵头、高校院所支撑、各创新主体相互协同的创新联合体。

截至2022年6月30日，中船特气拥有境内已获得授权的发明专利68项、实用新型专利110项、国际专利3项，同时正在申请发明专利168项、实用新型专利39项；主导或参与制定了国家标准7项、团体标准15项，科技成果显著。

经过多年的持续创新，中船特气掌握了九项拥有自主知识产权的核心技术，其中处于国际领先水平的电解氟化技术打破了国外长期以来的技术封锁，使得国内成为继美国、日本、韩国之后第四个掌握该等技术的国家，填补了国内空白。

截至2023年2月17日，中船特气拥有的9项主要核心技术中电解氟化技术、化学合成技术、精馏技术、化学纯化技术、吸附技术、混配技术、痕量杂质分析技术均达到国际领先水平；充装技术、绿色环保技术均为国内领先水平。

在产研融合方面，中船特气的核心技术广泛应用于主营业务中。2019-2021年及2022年1-6月，中船特气核心技术产品收入分别为10.14亿元、12.01亿元、16.41亿元、9.36亿元，占营业收入的比例分别为97.78%、98.43%、94.67%、97.98%。

截至2023年2月17日，中船特气承担了3个国家级重点项目、2个河北省重点研发计划、4个河北省科技重大专项，获得“2021年河北省科技进步一等奖”“河北省‘专精特新’示范企业”“2021年度河北省科技领军企业”、2次集成电路材料产业技术创新联盟“技术攻关奖”。中船特气已成为国内电子特种气体领域研发攻关和科技创新的骨干力量。

作为国内领先的电子特种气体及含氟新材料供应商，中船特气将继续聚焦主营业务、坚持科技创新、优化产业布局、统筹国内外两个市场，持续提升其竞争力、创新力、影响力、控制力和抗风险能力，打造具有国际影响力的电子特种气体品牌。