2019年12月16日，国科投资持股企业沈阳芯源微电子设备股份有限公司成功于上交所科创板上市，股票简称“芯源微”，股票代码688037。这是继容百科技（688005）、新光光电（688011）7月22日同时首批挂牌科创板后，国科投资在2019年收获的第三个科创板IPO。

芯源微上市，创造了多项“第一”

中国第一家半导体光刻工序设备上市公司。

虽然目前A股已经有6家半导体装备公司，包括近期科创板上市的中微公司，产品线涉及硅晶制备、晶圆清洗、离子刻蚀、激光切割、封装测试等环节。但芯源微是第一家光刻工序专用装备上市企业，具备全球竞争力。光刻是芯片制造流程中技术含量最高、难度最大的一道工序。以光刻机霸主ASML为例，其一台EUV光刻机的价格可以达到1.2亿美金，还供不应求。芯源微的涂胶显影设备与ASML的光刻机配套，已在代表世界最先进水平的台积电获得批量应用。

中科院直接孵化的第一家科创板上市公司。

科创板推出以来，已有65家科技创新企业挂牌上市，其中超过20%和中国科学院存在技术转移、成果转化合作关系，或由中科院科研人员创立。芯源微是首个中科院自身直接孵化企业在科创板成功上市的。公司创始股东中科院沈阳自动化研究所此前还孵化了深圳创业板第一批上市公司之一——新松机器人。据悉，中科院系统还有多家优秀科技成果转化企业正在进行上市申报或申报准备，有望在不久的将来系形成最“硬核”的科创板“中科院板块”。

辽宁省第一家科创板上市公司。

依托雄厚的装备制造业积累，和以中科院沈阳自动化研究所为代表科研机构、高校基础，辽宁沈阳已经聚集了一批优质半导体设备企业，在国内集成电路产业崭露头角。根据规划，到2020年沈阳集成电路产业发展规模将达到100亿元，其中整机装备制造达到30亿元、零部件及配套达到60亿元、材料达到10亿元。芯源微，已经成为这一新兴半导体装备基地的代表性和龙头企业。

十七年磨一剑 突破高端半导体装备“卡脖子”短板

芯源微此次发行，得到了资本市场的高度关注，中签率仅为0.046%，低于已挂牌65家公司中的42家；发行市盈率113倍，是科创板开市以来仅有的发行市盈率超过100倍的三家公司之一。

作为一家收入、利润规模都还不算大的公司，芯源微受到行业和资本认可的一个重要因素是，通过长期坚忍不拔、持续拼搏，公司成功突破了我国在涂胶显影设备上被发达国家“卡脖子”的短板。

2002年，芯源微由中国科学院沈阳自动化研究所和韩国STL公司合资设立。

2005年，芯源微涂胶显影设备销售到国内最大的封装企业江阴长电。

2007年，芯源微12英寸涂胶显影设备批量应用，实现国产IC装备在晶圆尺寸和工艺上的突破。

2013年，芯源微封装级设备批量出口至台湾市场，主要客户为台积电子公司，用于 iPhone手机指纹识别器件生产。

2016年，芯源微封装级设备批量销售至台积电总公司，用于当时世界最先进 iPhone手机 A10 处理器生产，实现了国产半导体装备的重大突破。

2018年，芯源微国内首台前道大线级涂胶显影设备“奉天一号”研制成功，进入上海华力进行工艺验证；2019年，前道晶圆加工环节用单片式清洗设备研制成功，进入中芯国际进行工艺验证。这两个重量级设备的推出，标志着芯源微从后道封装市场进入了规模大10倍的前道大线市场，打破了日本东京电子、迪恩士两家公司的高度垄断，把公司发展的天花板提升了几个数量级。

2017~2018年，芯源微连续获评中国半导体设备十强企业。

“芯源微希望成为一家有高度、有深度、有硬度、有温度的企业”，芯源微董事长宗润福说，“在高度上，我们致力于占领全球半导体装备的制高点；在深度上，我们踏实稳健、潜心研发；在硬度上，我们对胜利负责、有钢铁执行力；在温度上，我们与员工、客户和供应商共同成长”。

“我们还要特别感谢国家02重大专项（《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目）2008年、2012年对公司的核心技术研发的大力支持！今天公司上市，是我们对重大专项交出的又一份结题答卷！”

挖掘和帮助科学家中的企业家

“科学家中的企业家，是我国进入创新驱动发展阶段最可宝贵的资源！”国科投资董事长孙华说。

同在中国科学院体系，孙华与宗润福相识多年，见证了芯源微成长、壮大，也见证了宗润福由一名科学家蜕变、成长为一名企业家的全过程。

芯源微创立初期，孙华经常问宗润福一个问题，对一个科技公司而言，是技术更重要，还是管理更重要？宗润福每次都斩钉截铁的回答，当然是技术最重要，没有技术其他什么都是零。

但随着公司的发展，尤其是经历了产品进入长电、台积电等下游巨头时遇到的种种困难，使宗润福对这个问题有了新的认识。他告诉孙华，公司的发展壮大，还是管理最重要。

于是在2015年，国科投资正式成为芯源微的重要股东。国科投资的进入，除了注入企业发展所需的资金，也进一步完善了公司的治理结构，为芯源微进入发展快车道创造了有利条件。

“在公司还很小的时候，宗总能够以高于自己10多倍的待遇吸引多名国内外顶级专家加盟，并实现了长期良好合作，让我们看到了他的决心和胸怀，看到了他成为一名优秀企业家的素质！”国科投资总经理刘千宏说。

孙华说：“挖掘和帮助科学家中的企业家，这件事国科投资已经做了32年；我们还会继续做下去，支持他们成为促进中国产业发展、影响全球行业格局的领军者！”